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接觸式光刻機是一種用于信息科學(xué)與系統(tǒng)科學(xué)、能源科學(xué)技術(shù)、電子與通信技術(shù)領(lǐng)域的工藝試驗儀器，于2016年7月12日啟用。接觸式光刻機的使用原理：其實在我國對于接觸式光刻機，曝光時掩模壓在光刻膠的襯底晶片上，其主要優(yōu)點是可以使用價格較低的設(shè)備制造出較小的特征尺寸。我們也許不知道接觸式光刻和深亞微米光源已經(jīng)達到了小于0.1gm的特征尺寸，常用的光源分辨率為0.5gm左右。該設(shè)備的掩模版包括了要復(fù)制到襯底上的所有芯片陣列圖形。在襯底上涂上光刻膠，并被安裝到一個由手動控制的臺子上，臺子...

電容位移傳感器的原理是利用力學(xué)變化使電容器中其中的一個參數(shù)發(fā)生變化的方法實現(xiàn)信號的變化的。該傳感器由目標(biāo)和探針兩個傳感板組成電容器。當(dāng)電容器之間的距離發(fā)生改變時，電容器的電容量就會發(fā)生改變，使用適當(dāng)?shù)目刂破骶蜁y出兩個傳感板距離的變化。測量原理特性：采用電容式測量原理，需要潔凈和干燥的環(huán)境，否則傳感器探頭和被測物體之間的物質(zhì)介電常數(shù)的變化會影響測量結(jié)果。我們也推薦任何時候，都盡量縮短探頭到控制器之間的電纜長度。對于標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備，配備前置放大器，電纜長度設(shè)定為1m。如果配備外置放大...

掩模對準(zhǔn)曝光機的試驗方法：1、環(huán)境條件檢查：a、溫度、相對濕度檢查：試驗期間，用精度不低于1級的干濕球濕度計每4h測試一次環(huán)境的溫度，相對濕度。千濕球濕度計應(yīng)置放在與工作臺高度一致，沒有氣流的地方；b、潔凈度檢查：試驗期間，每4h測試一次潔凈度。選用測試精度能滿足相應(yīng)潔凈度等級的光學(xué)粒子計數(shù)器檢測有效工作區(qū)域的潔凈度；c、地面振動檢查：試驗期間，測試一次地面振動幅度，振動分析儀的拾振裝置應(yīng)置放于工作臺機座附近。2、外觀檢查：a、用目視法進行外觀質(zhì)量檢查；b、用手感方法檢查移動...

電容位移傳感器是一種非接觸電容式原理的精密測量儀器，具有一般非接觸式儀器所共有的無磨擦、無損磨特點外，還具有信噪比大，靈敏度高，零漂小，頻響寬，非線性小，精度穩(wěn)定性好，抗電磁干擾能力強和使用操作方便等優(yōu)點。在國內(nèi)研究所，高等院校、工廠和軍工部門得到廣泛應(yīng)用，成為科研、教學(xué)和生產(chǎn)中一種*的測試儀器。本產(chǎn)品基于平板電容原理。電容的兩極分別是傳感器和與之相對的被測物體。如果有穩(wěn)定交流電通過傳感器，輸出交流電的電壓會與傳感器到被測物體之間的距離成正比關(guān)系，從而可以通過測量電壓的變化得...

光學(xué)膜厚儀是一種非接觸式測量儀器，一般會運用在生產(chǎn)廠商大量生產(chǎn)產(chǎn)品的過程，由于誤差經(jīng)常會導(dǎo)致產(chǎn)品全部報廢，這時候就需要運用光學(xué)膜厚儀來介入到生產(chǎn)環(huán)境，避免這種情況的發(fā)生。光學(xué)膜厚儀的光學(xué)機械組件：1、光源：寬光譜光源；2、探測器：高靈敏度低噪音陣列式光譜探測器；3、控制箱：含電路板、控制單元、電源、光源；4、輸出設(shè)備：軟件界面支持輸出、輸入光譜數(shù)據(jù)庫。系統(tǒng)特點：1、嵌入式在線診斷方式；2、免費離線分析軟件；3、精細的歷史數(shù)據(jù)功能，幫助用戶有效地存儲，重現(xiàn)與繪制測試結(jié)果；4、主...