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分享!晶圓對準(zhǔn)設(shè)備具有的原位晶圓對準(zhǔn)鍵合技術(shù)

更新時(shí)間:2022-09-19  |  點(diǎn)擊率:1068
  晶圓對準(zhǔn)設(shè)備是實(shí)現(xiàn)系統(tǒng)微型化和系統(tǒng)更高集成度的關(guān)鍵工藝設(shè)備,尤其是先進(jìn)的MEMS、MOEMS制造的關(guān)鍵設(shè)備之一。其鍵合工藝主要包括陽極鍵合、共晶鍵合、熔融鍵合。該設(shè)備主要應(yīng)用于微機(jī)電系統(tǒng)極限環(huán)境可靠性測試試驗(yàn)中的封裝測試過程,為各種微機(jī)電器件提供不同類型的鍵合封裝,為檢驗(yàn)不同材料、鍵合條件對可靠性的影響提供鍵合技術(shù)支持。
 
  目前,晶圓對準(zhǔn)設(shè)備可應(yīng)用于多個(gè)領(lǐng)域,包括MEMS、功率器件、圖像傳感器、先進(jìn)封裝和化合物半導(dǎo)體等。其還能夠滿足各類基底的鍵合對準(zhǔn)需求。
 

 

  主要功能:
  1.可用于陽極鍵合,共晶鍵合,玻璃漿料鍵合,Si-Si熔融直接鍵合等硅片鍵合技術(shù)工藝;
  2.可實(shí)現(xiàn)三層玻璃-硅-玻璃鍵合、玻璃-硅-硅鍵合;
  3.獨(dú)立可控均勻?qū)ΨQ的上、下加熱電極,加熱和冷卻速度軟件可控,最大升溫/冷卻速度可達(dá)45度/分鐘。
 
  晶圓對準(zhǔn)設(shè)備具有的原位晶圓對準(zhǔn)鍵合技術(shù):
  1.激活、對準(zhǔn)、鍵合一體機(jī);
  2.上下基板獨(dú)立加熱,適合Getter材料工藝;
  3.智能作用力控制;
  4.可靠的全自動(dòng)對準(zhǔn)功能,對準(zhǔn)精度可達(dá)1微米;
  5.可鍵合的芯片及晶圓尺寸為2到12;
  6.自動(dòng)程序控制功能:適用于研發(fā)或生產(chǎn)等應(yīng)用;
  7.圖像采集功能:用于識別背面對準(zhǔn)標(biāo)記;
  8.鍵合前晶圓原位激活、化學(xué)表面處理功能。
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