橢偏儀通過測量光在介質表面反射前后偏振態(tài)變化，獲得材料的光學常數(shù)和結構信息，具有測量精度高、非接觸、無破壞且不需要真空等優(yōu)點。

1、根據(jù)研究或測試的材料特性來確定光譜范圍，進一步選擇適合光源的橢偏儀。對于透明材料，考慮關心的折射率光譜區(qū)域;對于短波吸收、長波透明材料，如果關心吸收區(qū)域折射率及膜厚可擴展到紅外透明區(qū)域來先確定薄膜厚度，然后求解折射率。

 

2、入射角方式選擇。橢偏儀多角度測量可以增加可靠性，但不是總有必要。多角度Z適用于以下幾種場合：多層膜結構、吸收膜、各項異性膜、光學常數(shù)沿厚度梯度分布的膜等。

 

3、考慮測量準確性與重度性。橢偏儀重復性定義為儀器多次測量的結果的比較，比較容易定義與比較。一般的測準確性時將空氣作為標準樣品(沒有其他理想的標準樣品)。

 

4、比較分析軟件。橢偏儀測量是一種非直接測量模式，數(shù)據(jù)需要擬合分析得來，所以分析軟件的好壞將直接影響到分析結果。